林媛

简介

课程
高质量氧化物薄膜规模化制备中的一些科学问题探讨
  氧化物功能薄膜不仅是基础物理研究的重要对象,也对未来的功能器件展现了光明的应用前景。报告人以晶圆级高质量外延的VO2薄膜以及集成于镍基底上的BaTiO3薄膜为例,针对拓展氧化物薄膜生长窗口和控制金属/氧化物界面两个方面探讨“控氧”的机理和方法,使用易于产业化的化学溶液生长技术,基于薄膜生长热力学模型,对生长中氧化反应动力学行为进行调控,实现了晶圆级高质量外延的VO2薄膜和界面可控的BaTiO3/Ni集成薄膜。报告中也提出了规模化制备高质量氧化物薄膜所面临的一些其它问题。
林媛 03-28 10:03